高精度磁気センサ

携帯電話等の開閉を検知するデバイスとして利用されている高精度磁気センサ（写真矢印）は、従来の磁気センサよりも出力が大きく、特性が安定しているのが特長です。広範囲の磁界を高精度に検知でき、温度特性に優れる上、低消費電流化も実現。その開発を支えたのは、材料開発、設計、高精度実装技術などのさまざまな「磁気応用技術」です。IC基板上にフォトリソグラフィ、スパッタ、めっき、エッチングを繰り返す「磁性材料成 膜技術」や、成膜完了後に各膜厚をX線解析し、そのデータを成膜工程へフィードバックすることにより更なる高品質化を図る「評価技術」など、数々のコア技術が利用されています。