当社は、気圧や水圧の検知に用いる、世界最小クラスのピエゾ抵抗式防水タイプMEMS圧力センサ（絶対圧検知）「HSPPAシリーズ」を開発、本年12月より量産を開始いたしました。

圧力センサは、ブレーキやパワーステアリングの油圧検知、およびエンジン周りの燃焼コントロール用などの車載分野を中心に、医療機器や産業機器など、幅広い分野で使用されています。最近では、洗濯機などの民生機器分野にまでその用途は広がり、デジタルカメラや腕時計といった身近な小型デジタル機器への搭載も珍しくありません。

小型デジタル機器向けの圧力センサは、アウトドアやダイバー用腕時計での気圧・水圧測定、およびデジタルカメラやデジタルビデオカメラの水中撮影時の色補正や水深検知などに用いられています。

本製品は、当社が長年培ってきた薄膜プロセス技術、微細加工技術、パッケージ技術を用いることにより、ピエゾ抵抗式の防水タイプ圧力センサとして、世界最小クラス（直径3.95mm×高さ1.85mm）の小型・低背化を実現しています。

今回採用したピエゾ抵抗式は、外部からの圧力によってダイヤフラムがたわみ、ダイヤフラム上に形成したピエゾ抵抗素子がひずむことで生じる電気抵抗の変化を、電圧信号として読み取り、圧力を割り出すものです。この方式は、ダイヤフラムのたわみ量を直接、ピエゾ抵抗素子の電気抵抗変化として捉えるため、シンプルな素子構造が可能で、小型化に適しています。

防水性能実現のために、構造や使用する材料の最適化を行うことで、高い耐水性を確保し、かつ高感度な圧力検知性能を達成しています。

更に、特性のばらつきを少なくするため、エッチング条件の最適化による安定したキャビティ^※2形成、外部応力の影響を抑えたSi-Si封止接合^※3を行っています。

当社では防水タイプのほかに、通常タイプのMEMS圧力センサ（素子単品タイプ、アンプ搭載タイプ）をラインアップしています。